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當(dāng)前位置：首頁  >  產(chǎn)品中心  >  半導(dǎo)體前道工藝設(shè)備  >  3 CVD  >  AIX G5 WW C化合物半導(dǎo)體沉積系統(tǒng)

化合物半導(dǎo)體沉積系統(tǒng)

簡要描述：化合物半導(dǎo)體沉積系統(tǒng)AIX G5 WW C“下一代碳化硅電力電子器件的最佳性能，以應(yīng)對全球大趨勢"高吞吐量批量外延與單晶圓控制 - 兩全其美。

  • 產(chǎn)品型號：AIX G5 WW C
  • 廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商
  • 更新時間：2025-06-05
  • 訪  問  量： 533

詳細介紹

主要優(yōu)點

  • 吞吐量和每片晶圓擁有成本

  • 批量配置中的單片性能，可實現(xiàn)出色的外延層質(zhì)量

  • 兼容硅晶圓廠的自動化技術(shù)支持碳化硅電源市場加速增長

產(chǎn)品特點

  • 帶熱晶圓轉(zhuǎn)移的行星式反應(yīng)器

  • 在生長室中高效利用氣體

  • 晶圓級溫度控制

  • 晶圓盒到晶圓盒處理

  • 快速外延處理

  • 8x150 mm 配置，單晶圓旋轉(zhuǎn)

  • AutoSat功能，確保批次內(nèi)的均勻性

  • SECS-GEM工廠接

主要優(yōu)點

  • 吞吐量和每片晶圓擁有成本

  • 批量配置中的單片性能，可實現(xiàn)出色的外延層質(zhì)量

  • 兼容硅晶圓廠的自動化技術(shù)支持碳化硅電源市場加速增長

產(chǎn)品特點

  • 帶熱晶圓轉(zhuǎn)移的行星式反應(yīng)器

  • 在生長室中高效利用氣體

  • 晶圓級溫度控制

  • 晶圓盒到晶圓盒處理

  • 快速外延處理

  • 8x150 mm 配置，單晶圓旋轉(zhuǎn)

  • AutoSat功能，確保批次內(nèi)的均勻性

  • SECS-GEM工廠接口





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