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12英寸通用物理氣相沉積系統

簡要描述:Polaris系列 12英寸通用物理氣相沉積系統,磁控濺射源和腔室結構的設計有效提高靶材利用率。

  • 產品型號:Polaris系列
  • 廠商性質:經銷商
  • 更新時間:2025-06-05
  • 訪  問  量: 689

詳細介紹

1. 產品概述

Polaris系列 12英寸通用物理氣相沉積系統,磁控濺射源和腔室結構的設計有效提高靶材利用率。

2. 設備用途/原理

Polaris系列 12英寸通用物理氣相沉積系統磁控濺射源和腔室結構的設計有效提高靶材利用率靈活的腔室配置針對優良封裝域優化、穩定的傳輸系統,兼容玻璃片、翹曲片、鍵合片等多種類型基片傳輸穩定并且低的Rc表現,良好的顆粒和應力控制能力優化的工藝流程帶來大產能表現,低運營成本

3. 設備特點

晶圓尺寸 12英寸適用材料 銅、鈦、氮化鈦、鉭、氮化鉭、鎢化鈦、金、鋁等適用工藝 電、優良封裝中的UBM/RDL適用域 新興應用、優良封裝


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