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工業(yè)顯微鏡簡(jiǎn)介： 1. 支持通過(guò)光學(xué)顯微鏡或圖像測(cè)量?jī)x（如Nikon NEXIV），對(duì)直徑為6英寸（150mm）和8英寸（200mm）的半導(dǎo)體晶圓的創(chuàng)新設(shè)計(jì)和材料進(jìn)行檢測(cè)。 2. 半導(dǎo)體晶圓裝載機(jī)系列，能夠?qū)⒅睆綖?英寸（150mm）和8英寸（200mm）的晶圓轉(zhuǎn)移到厚度為100微米（工廠制造選項(xiàng)）的尼康Eclipse L200N和LV150N顯微鏡或NEXIV VMZ-S視頻測(cè)量?jī)x器上。

超景深顯微鏡概述：本套系統(tǒng)主要用于材料表面形貌的觀察；平面或三維測(cè)量。可采用3D觀測(cè)模式，對(duì)被測(cè)物形狀，粗糙度，表面積等進(jìn)行測(cè)量，可以做高度，寬度，橫截面，角度，R值，表面積，體積，線粗糙度，面粗糙度等的測(cè)量分析。同時(shí)可以做材料斷口、金相的觀測(cè),陶瓷，微流道，微加工，現(xiàn)代加工制造,MEMS研究，微納制造等。

高速高分辨顯微共焦拉曼光譜儀 系統(tǒng)功能： 快速獲得詳細(xì)的圖像和分析，非常適合于微觀和宏觀測(cè)量，提供*進(jìn)的二維和三維共聚焦成像能力。LabRAM Odyssey™具有高性能和直觀的簡(jiǎn)易性，廣泛用于標(biāo)準(zhǔn)拉曼分析、光致發(fā)光(PL)、 針尖增強(qiáng)拉曼光譜 (TERS) 和其他聯(lián)用分析方法。通過(guò)簡(jiǎn)單的AFM 升級(jí)，從微米尺度轉(zhuǎn)向納米光學(xué)世界。

智能型多功能橢偏儀? （Smart SE） 是一款通用型薄膜測(cè)量工具。測(cè)試速度快，準(zhǔn)確。它可以表征幾埃到20µm薄膜厚度、光學(xué)常數(shù)（n, k）以及薄膜結(jié)構(gòu)特性（如粗糙度、光學(xué)梯度及各向異性等）。

霍爾效應(yīng)測(cè)試儀 簡(jiǎn)介： 1.系統(tǒng)功能：用于測(cè)量半導(dǎo)體材料的電阻率/電導(dǎo)率、流動(dòng)性、散裝/片狀載體濃度、摻雜類(lèi)型、霍爾系數(shù)、磁阻、垂直/水平阻力比的半導(dǎo)體高性能霍爾系統(tǒng)。模塊化設(shè)計(jì)理念，允許輕松升級(jí)，該系統(tǒng)適用于各種材料，包括硅和化合物半導(dǎo)體和金屬氧化物膜等。 2.該系統(tǒng)具有低電阻率和高電阻率測(cè)量功能，具有雙重溫度功能和一個(gè)可選的低溫恒溫器，可擴(kuò)展該系統(tǒng)溫度范圍從90K到500K。

探針臺(tái) 簡(jiǎn)介： 一、應(yīng)用:主要應(yīng)用于晶圓、芯片、器件、封裝等半導(dǎo)體制程測(cè)試環(huán)節(jié)。 二、類(lèi)型：分析直流、射頻、高壓、毫米波、太赫茲、硅光測(cè)量、芯片級(jí)測(cè)量、定制化等 三、概況：1. 樣品尺寸：碎片~12英寸 2. 自動(dòng)化：手動(dòng)、半自動(dòng)、全自動(dòng)